真空镀膜法加工非球面

发布时间:

2022-10-27 09:02

     空镀膜法加工非球面是附加加工法之一。它的本质是在抛光的球面或平面(基底)上,用真空镀脱办法镀以通明或许不通明的变厚度膜层。在待非球面化外表的不一样带区上,膜层厚度的改变是靠挡板(带有圆形孔的屏幕)来确保的。明显,真空镀膜法加工非球面与机械法加工非球面是不一样的,由于后者是根据去掉剩余的资料,而前者是附着必定资料。在某些情况下真空镀膜法加工非球面有必定的长处。例如,能够挑选不一样的镀膜资料,通明的或不通明的均可。在出废品时,能够不危害基底而去掉膜层。
     此办法的首要长处在于,它能够加工恣意类型的非球面、包含非对称形(由不均匀地旋转挡板得到的)非球面,而且具有较高的重复性,其误差约为1%e这就意味着,当真空镀膜设备的技术断定后,从一个制作周期到另一个制作周期,膜层厚度的误差不超越1%,当膜层厚度为20um时,其误差为0.2um,相当于用玻璃样板查验非球面时相差一个光圈。因而,真空镀膜加工非球而,彻底适于制作高精度非球面。
     光学零件真空镀膜使其非球面化,能够运用一般的真空镀膜机,备以使零件旋转的传动组织和查验膜层厚度的设备即可。

     这种办法大概三十年代中期就提出来了,其时是用真空镀铝的办法,将一个球面制成了抛物面,其时发现镜面开端有光的散射,而在某些情况下,当膜层超越5个波长时,膜层呈现裂纹并呈层状脱落。后来大家证明,以不危害膜层质量为条件,用硫化锌镀制的膜层,其厚度能够大大添加,到达30-40A。六十年代初,苏联曾成功地镀制了口径为140mm,相对口径为1:1.4,最大违背量为10um。的抛物面反别镜,然后证明了用真空法制作高精度反射式非球而的可能性。当前,真空镀膜非球面化办法还在不断发展和完善。

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